重庆多用炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备。专业多用炉主要用于离子注入后杂质的激活、浅结制作、生长高质量的氧化膜层和金属硅化物合金形成等工艺。随着集成电路工艺技术的飞速发展,对国内开发和研究具有自主知识产权的快速退火炉装备,有着重要的理论意义和工程应用价值。公司针对现代半导体器件退火工艺对快速退火炉系统的技术要求,在综合分析国内外各种快速退火沪系统技术基础上,通过深入的分析研究,设计了系统总体技术方案。拟定采用灯光辐射型热源装置,上下两排成正交的灯管组对位于其中间的半导体硅片进行直接加热实现温度的快速上升,以单点测温作为温度测量的解决方案作为系统总体方案.根据热传导基本理论,以实现系统总体技术指标作为己知参数计算得到系统所需要的热功率。
重庆多用炉用 途:采用纯氢气、氨分解或氨燃烧气体作保护气, ZYGW系列连续式高温热处理网带炉适用于粉末冶金零件烧结、钎焊以及一些不锈钢件 的淬火和固溶处理。适用范围:A、粉末冶金零件的烧结;B、硬质合金工具及其它组合件的钎焊;C、马氏体不锈钢五金工具(或器具)、医疗器械、测量工具淬火;D、高铬工具钢、高速工具钢、基体钢制工模具淬火;五、奥氏体不锈钢、耐热钢零件的固溶化处理,专业多用炉适用于轴承,制钉及渗碳淬火后的机械零件的回火处理。 RC型网带式热风循环回火炉也可用于发黑前的加热(表面处理工艺) 配有强力风机,以强制空气循环,达到炉内温度一致。 直棒式加热元件便于维修及更换。网带运行平稳,无级调速。
重庆多用炉为了提高效率并有效降低成本,采用剃齿工艺,工艺路线为:齿坯加工——滚齿——热处理——硬车内孔和端面——成品,即在热处理后不对齿轮进行精加工,关键尺寸、齿轮精度都在热处理过程中保证,多用炉厂家指出通过分析,该齿轮主要的制造难度在内孔和B端面的热处理畸变,以往的生产过程记录显示B端面的平面度在0.08-0.25mm之间,因齿轮内孔和端面是检验和安装基准,内孔和端面的超差直接安装后差速器异响的问题较突出。因此,控制内孔的热处理畸变及端面的平面度是剃齿工艺成功的关键。1.对于不能成批定型生产的,工件大小不相等的,种类较多的,多用炉厂家要求工艺上具有通用性、多用性的,可选用箱式多用炉。2.加热长轴类及长的丝杆,管子等工件时,可选用深井式电炉。
重庆多用炉是属于很特殊的一种电炉,在很多行业中都有很大的应用,气氛网带炉主要由炉体,温控系统以及网带传动系统三部分组成,其中,气氛网带炉炉体由进料段、预烧段、烧结段、缓冷段、水冷段及出料段组成;温控系统由热电偶、数显式智能PID调节器和可控硅组成,形成闭环控制系统,可实现自动精确控温. 加热元件采用FEC陶瓷加热板或陶瓷发热棒;网带传动系统由耐高温网带、传动装置等组成。网带的运行速度通过变频器调节,配置有数显式网带测速装置,可直读网带速度。专业多用炉适用于中小轴承圈套、滚子、自攻螺钉、螺帽、手工具、五金零件等的热处理。气氛网带炉热处理零件质量稳定,质量重现性好,零件表面光洁。
重庆多用炉外侧的表面氧化剥落,会导致开裂,使渗碳炉炉罐漏气是失效的主要形式。铸造缺陷对炉罐的使用寿命影响很大,往往在缺陷处的氧化、开裂机会较多。炉罐轻微开裂后经补焊使用不久,又很快损坏,这主要是由于经氧化、渗碳后焊接性能下降所致。由于渗碳炉罐的外侧接近电热元件,温度较高,专业多用炉可达950一l000度,炉罐具有良好的抗氧化性;炉罐的内侧处于渗碳气氛中,这就要求渗碳炉又需具有良好的抗渗碳性。同时,还因渗碳炉的载荷较大,故还要求渗碳炉具有较高的高温强度。有时在渗碳炉口部以下产生环状裂纹,这与渗碳炉的结构及该区复杂的应力情况有关。从结构上可以看出,产生环裂区域正是渗碳炉罐内高温区与上部罐口部分的低温区之间的过渡地带。
智能控制技术特别适合于退火炉这样具有非线性、时变的控制系统。随着智能技术的不断发展,越来越多的智能技术融入到控制理论中,如专家系统控制、模糊控制、神经网络控制、遗传算法、人工免疫等控制算法。多用炉厂家指出这些控制方法在退火炉等工业炉窑控制中也逐步得到了应用。退火炉主要部件为加热部件和冷却部件,期望能实现比较均衡稳定的温度控制。国内外很多学者在温度控制方面进行了大量的研究,在控制方法和控制手段上的研究成果直接推动着退火炉控制的研制工作。对罩式光亮退火炉控制系统进行了分析研究,使用PID算法进行编程,重庆多用炉采用可编程控制器在该炉电气控制系统中进行了实际应用,取得了较好的生产效益。