四川井式有马弗渗碳炉是现代大规模集成电路生产工艺过程中的关键装备。专业井式有马弗渗碳炉主要用于离子注入后杂质的激活、浅结制作、生长高质量的氧化膜层和金属硅化物合金形成等工艺。随着集成电路工艺技术的飞速发展,对国内开发和研究具有自主知识产权的快速退火炉装备,有着重要的理论意义和工程应用价值。公司针对现代半导体器件退火工艺对快速退火炉系统的技术要求,在综合分析国内外各种快速退火沪系统技术基础上,通过深入的分析研究,设计了系统总体技术方案。拟定采用灯光辐射型热源装置,上下两排成正交的灯管组对位于其中间的半导体硅片进行直接加热实现温度的快速上升,以单点测温作为温度测量的解决方案作为系统总体方案.根据热传导基本理论,以实现系统总体技术指标作为己知参数计算得到系统所需要的热功率。
四川井式有马弗渗碳炉的工作原理及其特点,井式气体氮化炉是周期作业式电炉,井式气体氮化炉是结合用户的实际使用情况在系列电炉的基础上改进的节能型电阻炉,专业井式有马弗渗碳炉最高工作温度650℃,炉膛为竖井式,内有不锈钢炉罐及料筐,工件放置在料筐内,控制气氛采用滴入式,经流量计和滴管滴入炉罐内,风扇装在炉盖上,可进行炉罐内温度及气氛的强迫循环。1、井式气体氮化炉可采用新型节能炉衬、升温快、热损失少、炉温均匀度好,特别适宜于轴类工件的热处理;2、井式气体氮化炉采用微机智能化仪表,按工艺要求设置炉温,自动跟踪显示,可实现 PLC 程序控制;3、多种温度,气氛控制上、下位微机联网,配上机械手可达到全过程的自动控制、记录及车间群控和少人、无人操作。
四川井式有马弗渗碳炉其设备的特点(1)、气体氮化炉处理温度低,时间短,工件变形小。(2)、气体氮化炉不受钢种限制,碳钢、低合金钢、工模具钢、不锈钢、铸铁及铁基粉未冶金材料均可进行软氮化处理。气体氮化炉工件经软氮化后的表面硬度与氮化工艺及材料有关。(3)、气体氮化炉能显著地提高工件的疲劳强度、耐磨性和耐腐蚀性。气体氮化炉在干摩擦条件下还具有抗擦伤和抗咬合等性能。(4)、气体氮化炉由于软氮化层不存在脆性相,故氮化层因而具有一定的韧性,不容易剥落。因此,专业【主词生产中软氮化已广泛应用于模具、量具、刀具(如:高速钢刀具)等、曲轴、齿轮、气缸套、机械结构件等耐磨工件的处理。
四川井式有马弗渗碳炉用途:各种金属机件和材料的回火、淬火、预热等热处理。专业井式有马弗渗碳炉特点:1、电炉设有热风循环装置使炉温均匀,工件受热均匀;2、电炉装载量大、生产率高,适用于各种类型的 机件回火、淬火、预热用;3、电炉炉衬采用全纤维结构,提高炉体保温性能,节约能源,降低生产成本;4、电 炉装御料方便,操作条件好;5、炉门为前后双开式,2只装料台车轮流工作,节约能量并提高效率,操作方便; 6、电炉设有连锁保护装置,可防止因误操作而发生的故障及事故;7、无污染,环保效益好。